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半導(dǎo)體行業(yè)過(guò)程氣體分析解決方案

方案概述

氣體純度和凈度的加持

電子特氣的品質(zhì)主要取決于其純度和凈度，一旦純度或凈度不達(dá)標(biāo)，輕則使下游產(chǎn)品質(zhì)量不過(guò)關(guān)，重則擴(kuò)散污染整條產(chǎn)品線，造成嚴(yán)重浪費(fèi)。為了保證產(chǎn)品的合格率，避免經(jīng)濟(jì)損失，半導(dǎo)體制造商會(huì)對(duì)氣體供應(yīng)商提供的氣體純度做出嚴(yán)格要求，通過(guò)使用多種氣體純化技術(shù)并實(shí)時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)氣體純度，以確保輸送到制造全過(guò)程的超純氣體的質(zhì)量。

雪迪龍為半導(dǎo)體制造商提供過(guò)程氣體分析一站式解決方案，在電子特氣進(jìn)入硅晶圓制造工藝之前，就開啟連續(xù)監(jiān)測(cè)，并通過(guò)自主研發(fā)的軟件包實(shí)時(shí)分析和反饋，滿足對(duì)晶圓制造過(guò)程中各種氣體及雜質(zhì)進(jìn)行在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的需求。

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